在净化工程中使用臭氧进行消毒时，车间内的臭氧浓度应该达到或超过10mg/m3的浓度标准；并且在达到这一标准后，继续密闭消毒30分钟。如果是对场所内的物品消毒，臭氧的浓度应适当提高。对于洁净度较高的车间，如对10万级、万级的车间消毒时，臭氧浓度则应提高到20-30mg/m3。 臭氧消毒是现代化洁净车间不可或缺的重要消毒手段。